ITO導電膜生產技術
時間:2022-07-25??
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利用磁控濺射技術生產各類光學電子薄膜。
磁控濺射技術:磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor
Deposition,PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點。
其具有增透、吸收、截止、分光、反射、濾光、干涉、保護、防水防污、防靜電、導電、導磁、絕緣、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、裝飾和復合等功能,并能夠提高產品質量、環保、節能、延長產品壽命、改善原有性能等。
理論上利用射頻磁控濺射可以濺射沉積任何材料。