ITO 薄膜的制備方法有蒸發、濺射、反應離子鍍、化學氣相沉積、熱解噴涂等, 但使用多的是反應磁控濺射法?！　TO膜層的厚度不同，膜的導電性能和透光性能也不同。一般來說，在相同的工藝條件和性能相同的PET基底材料的情況下，ITO膜層越厚，PET-ITO膜的表面電阻越小，光透過率也相應的越小。

　　　ITO 導電膜的挑戰　　ITO 透明導電膜仍是當前觸控面板主要的應用材料，但其面臨的挑戰也不少：主要原料銦的蘊藏量日益減少、銦價持續走高導致原料成本偏高、過度集中單一技術等等，曾有一段時間In 金屬的供應非常不穩定，國外企業通過實行回收制度，擺脫對中國的依賴之后(中國銦儲量占全球的50%以上)，問題得以解決。找到材料昂貴的ITO 導電膜替代方案，已成觸控面板廠降低模組成本的重要途徑?！　〕ゲ牧铣杀?，現有ITO 導電膜還存在諸多不足，觸摸屏用ITO 導電膜要想使透光率達到90%以上，就必須使用防反射膜;用在電子紙的話則存在過度彎曲時容易破裂的危險;難以在保持透射率的同時降低方塊電阻值;發淡黃光等?！　∧壳?，以ZnO 基薄膜、導電高分子、碳納米管等為代表的新材料取代ITO的發展已經開始，我們預計在未來3 年左右會占有一席之地?！　⌒滦屯该鲗щ娔ぁ　nO基薄膜　　目前，ZnO基薄膜的研究進展迅速，材料性能已可與ITO相比擬，從原來看，ZnO使用的是Zn，其產量遠高于ITO所使用的In，材料成本低。 ZnO基導電膜中以AZO薄膜的研究為廣泛，它的突出優勢是原料易得，制造成本低廉，無毒，易于實現摻雜，且在等離子體中穩定性好，因而有可能成為ITO的替代產品。另外，GZO與ITO同為無機材料，電阻值、光穿透率表現相近，且價格具有吸引力，也是目前被看好的替代方案之一。業界如臺灣工研院已攜手臺灣設備廠啟動GZO薄膜試產，可將厚度僅0.1毫米(mm)的GZO涂布于玻璃上，并將鎖定軟性背板，推行與卷對卷(Roll to Roll )制程相容的解決方案，目前主要還是良率的問題?！　щ姼叻肿印　‰S著性能的不斷提高，導電高分子材料被不斷用于電子器件的生產當中，其能用印刷技術制造，且能應用在彎曲性電子產品上。在眾多導電高分子材料中，目前受關注度高的是PEDOT(聚乙撐二氧噻吩)，像普利司通(Bridgestone)2009年發布的電子紙試制品上就采用了PEDOT類高分子，科研人員特別是日本研究機構一致在致力于PEDOT類導電高分子的研究，目前的難點在于如何同時確保透光性和導電性?！　√技{米管　　碳納米管作為一維納米材料，重量輕，六邊形結構連接，具有許多異常的力學、電學和化學性能，是納米的延伸技術，包括納米Ag線技術、石墨烯薄膜等等。目前在納米Ag線技術較成熟的以美商康世醫療(Carestream Advanced Materials)的FLEXX透明導電薄膜為主，具備高撓曲性、低阻值、高透光率等優勢，能作為取代ITO導體材料，還有一些廠商嘗試利用納米印刷技術將Ag絲在薄膜上印刷圖案來作為透明電極使用，這些廠商包括大日本印刷和富士膠片。韓國三星集團聯合一些科研機構在2010年用石墨烯薄膜制做了30英寸的柔性透明電極?！　夤具M展：日本企業先行　　新型透明導電膜的研發仍以國外企業特別是日本廠商為主，我們在這里列舉大日本印刷、富士膠片、東芝等廠商的研發進展情況?！　鴥裙鞠嚓P新型透明導電膜產品的進展　　蘇大維格(SZ300331)$(300331)：納米印刷透明導電膜處于中試階段　　公司新型透明導電膜由參股子公司納格光電(公司持股30%)負責研發生產銷售，納格光電的法定代表人崔錚曾任英國盧瑟福國家實驗室微結構中心微納米技術項目負責人，目前，納格光電已開發出一種新型具有自主知識產權的透明導電膜產品，該產品系通過在薄膜上刻蝕納米結構并附加導電材料制備的一種透明導電介質，可以應用于手機、互動電視等的觸摸顯示屏、透明電磁屏蔽、薄膜太陽能電池與有機發光顯示器件中的透明電極等。目前納格光電產品尚處于中試階段，未實現銷售。查看原圖結構網格透明導電膜(2010年專利)，非ITO導電：小于10歐方，透明度85%，柔性——大尺寸透明觸摸屏必選(50歐方)，ITO導電膜隨著面積的增大歐方成幾何上升，透明導電導光材料要跟觸摸屏廠商合作，核心專利：納米圖形化+壓印+填充技術，目前納米圖形化+壓印已經成熟，填充已經實現半自動化，目前朝自動化方向發展。擬銷售價格：150元~200元/平米;ITO材料成本：350元~500元/平米?！　″\富新材(SZ300128)$(300128)：從事ZnO透明導電膜的研發生產　　樂凱膠片(SH600135)$(600135)：銀鹽法透明導電膜已經面市　　樂凱透明導電膜結合了公司長期積累和擅長的銀鹽膠片制備技術、膜精密涂布技術與金屬化學鍍技術，于2009年底研制成功，歷時近四年時間研制開發，已申請了6件中國專利，1件PCT國際專利。透明導電膜導電層由銀、銅等四種有色金屬組成，采用超細網格設計，具有很好的導電性能，系列產品包括手機防輻射膜、視窗屏蔽膜(用于顯示器、保密部門玻璃窗口等的電磁屏蔽)、觸摸屏用導電膜，與ITO導電膜相比，銀鹽法透明導電膜節約了稀有貴金屬銦，降低了生產成本。目前該項目已列入公司產業化項目計劃，是公司新材料領域中的主導產品。

　　　ITO導電膜擁有較高的透光率和較低的電阻率　　ITO導電膜是一種具有導電功能的氧化銦錫薄膜，基材通常為PET材質，是在PET薄膜上形成以稀有金屬In(銦)為主要原料的ITO(Indium Tin Oxide)靶材而制成的?！　∽鳛橐环Nn型半導體材料，ITO導電膜具有較高的自有載流子濃度(電阻率低)、禁帶寬度1、可見光譜區光透射率高等光學特征，基于透光率和導電性能較好，ITO導電膜被廣泛應用于平板顯示器件、太陽能電池等諸多領域。 ITO導電膜的主要特性包括：(1)導電性能好，電阻率可達10-4Ω? cm;(2)可見光透光率高，可達85%以上;(3)對紫外線具有吸收性，吸收率在85%以上;(4)對紅外線具有反射性，反射率在80%以上;(5)對微波具有衰減性，衰減率也可達85%(6)薄層硬度高，耐磨，耐化學腐蝕;(7)膜層加工性能好，便于刻蝕等。高的可見光透光率與相當低的電阻率結合在一起，使ITO薄膜成為目前綜合性能優異的透明導電材料之一?！　TO導電膜制程簡介　　ITO 薄膜的制備方法有多種，主要分為兩大類：物理法和化學法，物理法包括磁控濺射、真空蒸發、離子增強沉積、激光脈沖沉積等，化學法包括熱解噴涂、化學氣相沉積、溶膠-凝膠法等，在這些制備方法中目前使用多的是磁控濺射法?！　TO導電膜的市場競爭格局　　日本企業幾乎壟斷ITO導電膜市場　　從觸摸屏的產業鏈結構來看，上游材料如玻璃基板、PET基板、特殊化學品等主要掌握在日、美等廠家的手中，尤其是日本廠家占據了比較高的市場份額，而其他材料除了ITO玻璃國內有有廠商可以生產外，主要技術也掌握在日本廠家手中。目前國內觸屏生產商所用的ITO 導電膜大部分依賴日本、韓國等國家進口，業內主要供應商有日東電工、尾池工業及帝人化成、東洋紡等廠商，其中日本日東約占每年國內采購量的50%?！　TO導電膜近期的發展史也蘊育著產業內的競爭格局變化?！　￠L期以來，日本廠商一直壟斷觸控屏用ITO導電膜的供應。在觸控面板用ITO導電膜方面，2007年以前業內主要使用日東電工、尾池工業、帝人化成和東洋紡等日本廠商的產品，日本廠商一度占到全球90%左右的市場份額?！　≡谟|控面板發展之初，PDA是觸控屏的主要增長動力，但PDA市場由于受到智能手機(非觸摸式)的替代，其發展一直嚴重低于市場預期，因此這些廠商產能擴張速度非常緩慢，根據Displaybank的數據，2007年ITO 導電膜的全球總產量為310萬平方米，較2006年相比僅增長了13.4%，我們估計主要還是用在液晶顯示器的透明電極上?！　?007年受到蘋果 “iPhone” 使用電容式觸摸屏的影響，手機用觸摸屏增長迅速，ITO導電膜的需求也開始出現大幅增長，而上游ITO導電膜的產能增長速度滯后，供需關系上造成供應緊張。從2008年ITO導電膜的世界市場份額來看，日本廠商整體市場份額下滑到63%，各廠商來看，擁有“2 Layer”這一自主產品的日東電工占20%，居首位;尾池占16%，排在第二位;帝人化成和韓國SKC Haas顯示薄膜分別占11%，排在第三位;日本郡是占7%，排在第五位;第六位以后的廠商份額合計為35%(萬順股份公司公告)。由此可見，2007年ITO薄膜生產不足導致韓國和臺灣等新興廠商的份額增加?！　‰S著國內觸摸屏行業的大幅擴張，作為上游的ITO導電膜生產企業近年來也逐步起步，萬順股份、歐菲光等企業涌現，由于中國在ITO導電膜的主要原材料銦儲量占到全球的50%以上，國內企業在材料成本上占有一定生產優勢，像更上游的ITO靶材“產品用的靶材還是依賴進口，國內靶材廠商的產品質量已大大提高，在國內ITO導電玻璃廠家，已大量開始使用國產靶材，只是國產靶材的價格優勢不明顯，所以公司少有采購”(長信科技2011年年報)，我們認為ITO導電膜在中低端產品中的應用情形與ITO靶材較為類似。而在高端手機電容屏領域，日東電工的“2 Layer”布線的痕跡很淡，因此國際手機大廠都要求使用日東電工的產品，目前日東電工的該專利已經到期，如果國內廠商能夠突破技術壁壘實現進口替代，成本可以降低很多，但是目前來看技術難度很大，且50μ級別的光學級PET基板都被日本企業壟斷，國內廠商很難買到，這樣穩定量產很難保證，這樣大多數高端手機廠商在下訂單時都會指定模組廠商使用日東的導電膜，從而來保證上游零部件供應的穩定性。因此我們認為短期內國內ITO導電膜生產廠商定位的還是中低端消費電子產品為主?！　TO導電膜投產計劃產能100萬平米/年　　萬順股份目前已經形成了高中檔包裝材料、鋁箔、導電膜“三駕馬車”并駕齊驅、協同發展的局面，年產100萬平方米的導電膜生產線項目已于今年8月正式投產?！　W菲光(SZ002456)：ITO導電膜已正式量產　　從上游ITO導電膜材料到觸摸屏模組生產，在目前國內的觸摸屏廠商中，歐菲光已成為產業鏈為完整企業之一?！　∧喜(SZ000012)：ITO導電膜有計劃但還未投產　　南玻A目前形成了平板玻璃、工程玻璃、太陽能產業鏈、精細玻璃四個事業部，其中ITO導電膜放在了精細玻璃事業部，在吳江平板顯示產業基地生產，目前來看原定于2013年初建成投產的72萬平米/年ITO導電膜項目可能會被推遲。